소속 Manager : 숙명여자대학교 공동기기실

기기 Instrument : Energy Dispersive x-ray Spectroscopy​ 

기능(사용) Usage : EDS는 전자현미경(SEM)에 장착되어 X-ray를 이용하여 고체, 박막 또는 particle들의 화학적 성분을 분석하는 기술이다. EDS의 측정 원소 범위는 Beryllium(4) 부터 Americium(95)까지이다. 가장 sensitive한 분석 방법 중의 하나인 X-ray microanalysis는 미소 부위, 즉 수 micron의 영역에 대한 원소 성분에 대한 정보를 알 수 있으며, relative detection limit은 0.1% 이다.​