소속 Manager : 숙명여자대학교 공동기기실

기기 Instrument : UHV sputter ststen

기능(사용) Usage :​ 초고진공(1E-7torr)에서 Ni,Fe,Co,Ta등의 박막을 Magnetron 스퍼터 증착(RF/DC )할 수 있으며 3개의 Gun에 각기 다른 Target을 장착하여 co-sputter가 가능하다. 또한 Loadlock이 장착되어 많은 실험을 짧은 시간에 수행 할 수 있어 연구용으로 높은 활용도를 갖는다.​

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