소속 Manager : 숙명여자대학교 공동기기실

기기 Instrument : Scanning Electron Microscope

기능(사용) Usage :​ 전자현미경은 가속 전자를 빛으로 사용하는 현미경으로서 영상을 형성하는 광원의 파장이 광학현미경의 가시광선에 비해 작기때문에 영상의 분해능이 훨씬 우수하여 시편의 미세조직을 백만배 이상의 배율로 확대하여 관찰할 수 있다. 광원으로 쓰이는 전자는 음전하를 띠고 있어서 띠고 있어서 전자파나 X-선에 비해 물질과 아주 민감하게 반응하여 강하게 회절되므로 국부적인 원자배열의 흐트러짐까지도 정량적으로 분석할 수 있다. 특히 전자빔은 전자기 렌즈 등으로 수십 A 이내로 쉽게 접속시킬 수 있어서 미소영역의 구조를 직접 관찰할 수 있다. 수십 kV 이상으로 가속된 전자는 물질을 구성하고 있는 원자와 반응하여 이차전자, X선, 오제전자 및 가시광선 등을 발생시키므로 원자의 종류와 양도 유추할 수 있어서 다른 종류의 분석기술에 비하여 그 활용범위가 넓다. 전자총에서 방출된 전자빔을 집속시켜 시료표면의 관찰영역을 주사하여 이때 시료표면에서 발생되는 여러 전자형태를 각종 검출기로 감지하여 브라운관의 밝기로 변조시켜 시료의 표면 형태 및 조성에 대한 각각의 영상들을 얻어 출력할 수 있다.​