[2018]Layer controlled TMDC films by sulfurization of W film deposited by ALD method via Metal-Organic Chemical Vapor Deposition > 학회발표

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Research - 학회발표
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    • [2018]Layer controlled TMDC films by sulfurization of W film deposited by ALD method via Metal-Organic Chemical Vapor Deposition

      presenter : 이유빈
      conference : 제54회 한국진공학회 동계정기학술대회, 한국진공학회, February 7, 2018.

      content

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